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榮獲表彰！鞏小亮：奮斗書(shū)寫責(zé)任擔(dān)當(dāng)｜喜迎二十大
電科裝備堅(jiān)決貫徹落實(shí)黨中央及集團(tuán)公司黨組各項(xiàng)決策部署，始終牢記“國(guó)之大者”，在此過(guò)程中，科研技術(shù)專家?guī)ь^沖鋒，全力攻克技術(shù)難關(guān)，不斷提升關(guān)鍵核心技術(shù)掌控力，助推實(shí)現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng)。近期，電科裝備48所第三代半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域技術(shù)專家、半導(dǎo)體裝備研究部主任鞏小亮博士榮獲“國(guó)資委重大工程突出貢獻(xiàn)個(gè)人”稱號(hào)。
無(wú)論是節(jié)假日還是下班后，在微電子樓六樓和SiC外延實(shí)驗(yàn)室，經(jīng)常可以看到電科裝備48所第三代半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域技術(shù)專家、半導(dǎo)體裝備研究部主任鞏小亮博士纖瘦而專注的身影，他的眉頭總是緊皺，他的工作總是“難啃的骨頭”，但他的目光始終堅(jiān)毅，步伐始終堅(jiān)定。從 MOCVD到SiC外延，從省重大專項(xiàng)到省十大技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目，從有源層創(chuàng)新中心到第三代半導(dǎo)體國(guó)創(chuàng)中心......重大工程項(xiàng)目攻關(guān)、高端裝備產(chǎn)業(yè)化的道路上，他在磨礪中成長(zhǎng)，無(wú)私地奉獻(xiàn)。
專注，才能極致
沒(méi)有工藝的裝備缺少靈魂，難以形成核心競(jìng)爭(zhēng)力。在進(jìn)入48所工作以前，鞏小亮是某LED制造公司外延廠MOCVD工藝工程師。2012年，他以工藝支撐加入裝備國(guó)產(chǎn)化事業(yè)。他始終在思考，作為材料和微電子專業(yè)出身的工藝人員，如何在裝備事業(yè)中起到突出的牽引作用；他始終在踐行，從實(shí)驗(yàn)室建設(shè)與運(yùn)行、工藝驗(yàn)證、設(shè)備改進(jìn)、交流合作、項(xiàng)目策劃、規(guī)劃論證……
從單純工藝研究到裝備研制，需要消化更多的專業(yè)知識(shí)，開(kāi)展大量的試驗(yàn)，磨煉更強(qiáng)的能力。他默默扎根實(shí)驗(yàn)室，通過(guò)上千爐次的工藝試驗(yàn)不斷發(fā)現(xiàn)問(wèn)題、解決問(wèn)題，提升設(shè)備的工藝性能和可靠性?；谧灾餮邪l(fā)的外延生長(zhǎng)設(shè)備成功開(kāi)發(fā)AIN外延、SiC外延等配套工藝；通過(guò)大量工藝數(shù)據(jù)反饋實(shí)現(xiàn)設(shè)備改進(jìn)優(yōu)化二十余項(xiàng)，形成高可靠加熱器、高效進(jìn)氣結(jié)構(gòu)等核心技術(shù)，高溫MOCVD外延設(shè)備制造技術(shù)獲中國(guó)電科技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)；基于豐富的外延生長(zhǎng)技術(shù)與工程項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn)，他牽頭制定了MOCVD、SiC外延設(shè)備工藝驗(yàn)證相關(guān)電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)2項(xiàng)；通過(guò)團(tuán)隊(duì)持續(xù)拼搏，第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵裝備已實(shí)現(xiàn)全面突破，形成局部成套應(yīng)用態(tài)勢(shì)。6英寸SiC外延爐更是在2022年上半年就斬獲合同逾百臺(tái)，贏得行業(yè)最大訂單。工藝與設(shè)備的深度融合，正在成為SiC外延等高端裝備持續(xù)創(chuàng)新和逐步走向全正向化的突出牽引力和推動(dòng)力。
擔(dān)當(dāng)，才能有為
“沒(méi)有做不做的問(wèn)題，只有怎么做的問(wèn)題”，“要做，就做到最好”，他是這么說(shuō)的，也是這么干的。近幾年來(lái)，半導(dǎo)體裝備事業(yè)快速發(fā)展，科研項(xiàng)目持續(xù)翻番，在“急難險(xiǎn)重”任務(wù)中，總能看到他的身影。在某基礎(chǔ)科研重大項(xiàng)目申報(bào)中突遇技術(shù)成熟度評(píng)價(jià)材料難題，此時(shí)距離項(xiàng)目答辯不到一周。盡管可以有無(wú)數(shù)個(gè)理由，但他沒(méi)有任何推脫，快速熟悉項(xiàng)目技術(shù)、了解技術(shù)成熟度評(píng)價(jià)方法、搜集輔助材料、請(qǐng)教行業(yè)專家，如期完成評(píng)價(jià)材料編制，支撐項(xiàng)目答辯順利通過(guò)，技術(shù)成熟度評(píng)價(jià)環(huán)節(jié)獲專家一致好評(píng)，完成任務(wù)的同時(shí)讓技術(shù)成熟度評(píng)價(jià)方法深入骨髓，再也不會(huì)成為難題。
這樣的事例還有很多，他把每一項(xiàng)挑戰(zhàn)當(dāng)成提升自我的機(jī)會(huì)，在每個(gè)“不可能”變成現(xiàn)實(shí)的過(guò)程中感受奮斗的真諦。不斷地克服挑戰(zhàn)，練就了全面的能力，換來(lái)了重大工程答辯現(xiàn)場(chǎng)面對(duì)20余位行業(yè)頂級(jí)專家質(zhì)詢的從容應(yīng)對(duì)。無(wú)數(shù)次挑燈夜戰(zhàn)，換來(lái)了多個(gè)重大項(xiàng)目落地。近五年來(lái)，他牽頭成功申報(bào)科研項(xiàng)目10余項(xiàng)，獲國(guó)撥經(jīng)費(fèi)逾億元。
合作，才能共贏
他秉承開(kāi)放合作的理念，走出研究所，深入第三代半導(dǎo)體行業(yè)，挖掘技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)和裝備需求特點(diǎn)，不斷加深對(duì)行業(yè)的理解和對(duì)裝備發(fā)展的認(rèn)識(shí)。在第三代半導(dǎo)體全國(guó)性行業(yè)會(huì)議上進(jìn)行學(xué)術(shù)報(bào)告多次，顯著提升了電科裝備影響力，精準(zhǔn)把握行業(yè)動(dòng)態(tài)與技術(shù)動(dòng)向。多次與第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域相關(guān)高校、研究所、生產(chǎn)企業(yè)開(kāi)展技術(shù)交流，探討合作，與中車時(shí)代電氣、國(guó)防科技大學(xué)、湖南大學(xué)、中南大學(xué)等多家單位形成實(shí)質(zhì)性項(xiàng)目合作，從仿真研究、裝備驗(yàn)證、零部件配套研制等多層面協(xié)同創(chuàng)新，有力提升裝備研制水平和應(yīng)用能力。
從無(wú)到有、從“能用”到“好用”、從跟隨到引領(lǐng)，還有很艱巨的路要走，時(shí)不我待！站在新時(shí)代潮頭，唯有發(fā)揚(yáng)使命擔(dān)當(dāng)和艱苦奮斗精神，迎難而上、奮力攀登，才能接好歷史交予我們的這一棒。以鞏小亮為代表的裝備青年，將在這場(chǎng)歷史洪流中“以百米跑的速度沖刺馬拉松”，只爭(zhēng)朝夕，不負(fù)韶華，在高端裝備自立自強(qiáng)的征程中寫下絢爛一章！
