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SiC高溫退火爐
來源：
發(fā)布時間：2022年10月12日
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產品型號：R2121-3/UM
產品簡介：設備特點：1、高純特殊處理熱場材料，器件品質及良率高; 2、垂直升降裝卸片和自動送片系統(tǒng)；3、溫場和流場耦合設計，均勻性優(yōu)良；4、大生產工藝驗證，工藝重復性和穩(wěn)定性優(yōu)異
應用領域：用于SiC器件高溫退火離子激活工藝，可適用于 各種碳膜保護下的工藝要求
核心參數(shù)：1、晶片尺寸：6"（兼容4”）;
2、最大載片量：50片/批；
3、工藝溫度：1000°C~1900°C;
4、恒溫區(qū)長度：250mm;
5、控溫精度：≤±1°C;
6、爐內溫度均勻性：≤±5°C;
7、最大升溫速率：100°C/mino
聯(lián)系人：李富石 聯(lián)系方式：15973176321
