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批靶大束流離子注入機(jī)
來源：
發(fā)布時(shí)間：2022年10月11日
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產(chǎn)品型號(hào)：CI-S0400MBR06CF
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：CI-S0400MBR06CF是一款針對(duì)SmartCut工藝研發(fā)的專用型設(shè)備。該機(jī)型針對(duì)壓電材料的特殊性及SmartCut的工藝特殊要求做了針對(duì)性的設(shè)計(jì)。
應(yīng)用領(lǐng)域：應(yīng)用于鈮酸鋰、碳酸鋰、硅等材料晶圓的氫注入或氦注入，滿足相應(yīng)材料薄膜制備需求。
核心參數(shù)：晶片尺寸（Wafer Size）:6 inch；
能量范圍（EnergyRange）：30-400keV(單電荷) 30-400keV(single charge) ；
注入元素（Ion Species）：H,He,B,Ar；
晶片溫度（Process Wafer temperature）:RT-200℃
聯(lián)系人：胡東京 聯(lián)系方式：18611091830
