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晶圓探針測試臺
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發(fā)布時間：2022年12月22日
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產品簡介：經過近五十年技術積累，我司探針測試臺已覆蓋12英寸及以下晶圓的手動、半自動及全自動測試。
應用領域：IC、IGBT、TVS、SCRS、MEMS、LED、陶瓷薄膜器、SAW聲表器件等
核心參數(shù)：可測晶圓規(guī)格 12寸及以下
適用晶圓厚度 0.3mm<T≤1mm(標準）
XY最大速度 X-Y臺移動速度 ≥200mm/s
分辨率 0.001mm
定位精度 <0.003mm/200mm
Y軸 工作行程 500mm
分辨率 0.001mm
定位精度 <0.003mm/200mm
Z軸 工作行程 20MM
分辨率 0.001mm
定位精度 <0.003mm/15mm
θ軸 工作行程 ±30°
分辨率 0.00013°
定位精度 <0.01mm/150mm
聯(lián)系人：宋偉峰 聯(lián)系方式：13311257366
