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勻膠顯影設(shè)備
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發(fā)布時(shí)間：2022年12月22日
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：12英寸及以下英寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓及非標(biāo)襯底片的勻膠、顯影、預(yù)烘工藝（包含不規(guī)則形狀的噴膠）。
應(yīng)用領(lǐng)域：IC、IGBT、TVS、SCRS、MEMS、LED、陶瓷薄膜器件等
核心參數(shù)：適用基片尺寸： 12寸及以下
曝光光強(qiáng) ：≥25mW/cm2
曝光分辨率： 1um（真空接觸）
對(duì)準(zhǔn)精度：1um
曝光不均勻性：±3%
聯(lián)系人：宋偉峰 聯(lián)系方式：13311257366
