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產(chǎn)品型號(hào)：CXS-XXXX

產(chǎn)品簡介：CXS系列旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)主要用于半導(dǎo)體晶片、玻璃片、掩膜板等類似材料的高潔凈度沖洗干燥工藝。自2000年推向市場以來，年裝機(jī)量近200臺(tái)，市場保有量超過2000臺(tái)，作為四十五所的拳頭產(chǎn)品已被國家列為替代進(jìn)口產(chǎn)品，并獲得多項(xiàng)國家獎(jiǎng)勵(lì)。設(shè)備滿足半導(dǎo)體芯片制造過程中的干燥及顆粒度指標(biāo)要求；具有優(yōu)良的動(dòng)平衡控制與靜電消除功能；具有純水電阻率檢測功能；腔體材料和結(jié)構(gòu)采用凈化處理；轉(zhuǎn)軸采用專用的氣密封結(jié)構(gòu)；

應(yīng)用領(lǐng)域：該產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、半導(dǎo)體材料、MEMS 等領(lǐng)域

核心參數(shù)：晶圓材料：Si、藍(lán)寶石、GaAs、.InP、SiC、GaN、鉭酸鋰、鈮酸鋰、半導(dǎo)體陶瓷