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立式LPCVD
來源：
發(fā)布時間：2022年10月12日
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產(chǎn)品型號：M51200-4/UM
產(chǎn)品簡介：設(shè)備特點：1、全自動傳送，定位精準(zhǔn)，穩(wěn)定可靠；2、高潔凈工藝環(huán)境；3、設(shè)備內(nèi)部形成局部凈化環(huán)境，有效控制污染;4、工藝氣體充分預(yù)熱，氣氛均勻，精確溫控； 5、薄膜均勻性佳。
應(yīng)用領(lǐng)域：用于集成電路制造中的堅膜氧化層、多晶硅淀積；適用工藝有TEOS、Poly、SiNo
核心參數(shù)：1、晶片尺寸：8"（兼容6 "）;
2、典型工藝溫度：500°C~800°C ;
3、恒溫區(qū)長度：≥860mm;
4、單點控溫精度：≤±0.5°C;
5、最大載片量：170片；
6、極限真空：≤20mtoir;
7、新增顆粒：≤30 （ ≥0.2um）;
8、金屬污染:<5E10atm/cm2
聯(lián)系人：李富石 聯(lián)系方式：15973176321
