.png)
您的位置：
網(wǎng)站首頁 > 產(chǎn)品與服務(wù) > 產(chǎn)品展示 > 光伏裝備
掃描式磁控濺射設(shè)備
來源：
發(fā)布時間：2022年10月11日
瀏覽次數(shù)：
產(chǎn)品型號：RSP-100型
產(chǎn)品簡介：PVD又稱物理氣相沉積，RSP-100為多靶水平磁控濺射系統(tǒng)，專為實(shí)驗(yàn)室工藝研發(fā)、材料開發(fā)等功能開發(fā)的一款多功能實(shí)驗(yàn)性平臺，可滿足自動往復(fù)多次鍍膜的要求。
應(yīng)用領(lǐng)域：新能源-光伏產(chǎn)業(yè)鏈生產(chǎn)企業(yè)
核心參數(shù)：型號：RSP-100
成膜種類：ITO/AZO/IZO/NiO2/Cu等
載板規(guī)格：210×210 mm，載片量2×2=4片
膜厚范圍：20-110nm
膜厚均勻性：5%(片內(nèi))、5%(片間)、5%（批間)
極限真空度：≤1E-4Pa
靶基距：75mm-90mm可調(diào)
陰極配置：平面靶、旋轉(zhuǎn)靶
溫度范圍：25-350℃
聯(lián)系人：黃凌飛 聯(lián)系方式：18684881206
