.png)
您的位置：
網(wǎng)站首頁 > 產(chǎn)品與服務(wù) > 產(chǎn)品展示 > 光伏裝備
原子層沉積設(shè)備
來源：
發(fā)布時間：2022年10月11日
瀏覽次數(shù)：
產(chǎn)品型號：RSD-100型
產(chǎn)品簡介：本設(shè)備為單腔體原子層沉積系統(tǒng)，專為實(shí)驗室工藝研發(fā)、材料開發(fā)等功能開發(fā)的一款多功能實(shí)驗性平臺，可針對性實(shí)現(xiàn)鈣鈦礦太陽能電池（PSCS）電子傳輸層薄膜（TIO2 、SNO2等）的制備。
應(yīng)用領(lǐng)域：新能源-光伏產(chǎn)業(yè)鏈生產(chǎn)企業(yè)
核心參數(shù)：型號：橫流型原子層沉積設(shè)備
成膜種類：Al2O3，TiO2，SiO2，SnO2，AIN，TiN等
載板規(guī)格：158mm~ 210mm，4~8片/批
工藝溫度：20-400℃（溫度不均勻性≤±2℃)
極限真空度：≤3PA
膜厚均勻性：2.5%(片內(nèi))、2.5%（片間)、2.5%（批間)
前驅(qū)體源：液態(tài)，固態(tài)，氣態(tài)，臭氧源
源瓶容量：標(biāo)準(zhǔn)50mL揮發(fā)式容器/100mL載氣輔助式容器，其他規(guī)格可定制
循環(huán)時間：5s/cycle
聯(lián)系人：黃凌飛 聯(lián)系方式：18684881206
