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平板式PVD設(shè)備（含自動(dòng)化）
來源：
發(fā)布時(shí)間：2022年10月11日
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產(chǎn)品型號(hào)：RSP-8000型
產(chǎn)品簡介：PVD又稱物理氣相沉積，用于高效異質(zhì)結(jié)（HJT）太陽電池硅片的正反面濺鍍 ITO透明導(dǎo)電薄膜。量產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備，可在一次工藝過程實(shí)現(xiàn)正反面的鍍膜。自動(dòng)上下料系統(tǒng)具備上料自動(dòng)外觀（破片、缺口、崩邊）檢測(cè)及下料PL檢測(cè)功能，產(chǎn)能大、穩(wěn)定性好。
應(yīng)用領(lǐng)域：新能源-光伏產(chǎn)業(yè)鏈生產(chǎn)企業(yè)
核心參數(shù)：型號(hào)：RSP-8000
成膜種類：透明導(dǎo)電氧化薄膜
載板規(guī)格：210×210 mm半片，半片載片量9×20=180片
碎片率：≤0.08%
膜厚均勻性：3%（片內(nèi))、4%(片間)、3%(批間)
方阻均勻性：50±5Ω
lTO透光率：≥88%(400nm-1200nm)
溫度范圍：90-200℃
陰極配置：強(qiáng)磁場(chǎng)，靶材表面全長度方向>1000GS
硅片定位精度：≤±0.1mm
檢測(cè)模組配置：下料PL檢測(cè)模組，選配AOI檢測(cè)模組
Uptime：92%
產(chǎn)能：12000-14400片/時(shí)
聯(lián)系人：黃凌飛 聯(lián)系方式：18684881206
