北京爍科中科信電子裝備有限公司
北京爍科中科信電子裝備有限公司(簡稱“爍科中科信”)成立于2019年6月,以電科裝備48所和北京中科信離子注入機(jī)業(yè)務(wù)戰(zhàn)略整合而成,總部位于北京市通州區(qū)光機(jī)電一體化產(chǎn)業(yè)基地,在長沙設(shè)有分公司。
作為國內(nèi)目前唯一一家集成電路領(lǐng)域集研發(fā)、制造、服務(wù)于一體的離子注入機(jī)供應(yīng)商,爍科中科信公司始終致力于為國家解決離子注入機(jī)關(guān)鍵技術(shù)自主可控難題。經(jīng)過數(shù)十年的攻關(guān),在國家科技02重大專項等項目的支持下,公司連續(xù)突破大流強(qiáng)長壽命高品質(zhì)離子源、高速晶圓傳輸?shù)群诵年P(guān)鍵技術(shù),形成中束流、大束流、高能機(jī)、特種、化合物半導(dǎo)體等全系列離子注入機(jī)產(chǎn)品體系,工藝段覆蓋至28nm,批量應(yīng)用于全球知名芯片制造企業(yè),邁出了我國離子注入機(jī)自主可控發(fā)展的堅實步伐。
爍科中科信已申請395項發(fā)明專利,國際專利2項,具備高新技術(shù)企業(yè)、博士后科研工作站等資質(zhì),建成了符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的離子注入機(jī)批量制造平臺,年產(chǎn)達(dá)30臺,并應(yīng)用信息化管理系統(tǒng)實現(xiàn)離子注入機(jī)批量制造全程質(zhì)量控制及追溯。
爍科裝備,國芯基石。爍科中科信將不斷攻克離子注入機(jī)關(guān)鍵核心技術(shù),持續(xù)推進(jìn)離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)化,致力成為國際一流的離子注入機(jī)供應(yīng)商和服務(wù)商,鑄就我國集成電路產(chǎn)業(yè)更加牢固的基石。